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    MDP少子壽命測試儀 | 鐵濃度測定

    瀏覽次數:463發布日期:2023-06-11

    有了MDPingot和MDPmap係列,就可以全自動地測量磚塊和矽片中的鐵濃度,而且分辨率非常高。鐵硼對解離前後的壽命測量是一種**使用的測定矽片中鐵的方法。在高摻雜濃度的摻硼矽中,因為它被用於光伏應用,幾乎100%的電活性鐵以FeB對的形式存在。在有足夠能量的光照下,這些鐵對可以在Fe和B中解離。這個過程是可逆的,在一段時間後,所有的FeB對都會再次結合。FeB和Fei有不同的重組特性,因此解離對測量的壽命有影響。在這種影響下,鐵的濃度可以通過以下方式確定:

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    對於鐵的測定,使用了一個校準係數C,它取決於注入、摻雜濃度和陷阱濃度,這在多晶矽中必須加以考慮。通過MDP,可以對多晶矽和單晶矽進行91香蕉视频APP免费下载率的鐵濃度測定,並且由於模擬和多年的研究,還具有很高的精度。


    照明前的壽命圖和產生的鐵圖

    關於鐵的測定和校準係數的依賴性的更多信息,請閱讀:

    [1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).

    [2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published


    陷阱濃度測定的工具

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