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少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用於單晶矽錠、矽磚和矽晶圓片的生產和質量監控。用於HJT、HIT、TOPcon、雙麵PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的矽材料。

MDPmap單晶和多晶矽片壽命測量儀被設計成一個緊湊的台式非接觸電學表征工具，用於離線生產控製或研發，在穩態或短脈衝激勵（μ-PCD）下，在一個寬的注入範圍內測量參數，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數設置允許輕鬆適應各種不同的樣品，包括外延層和經過不同製備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。

MDPlinescan在線少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器，用於各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶矽磚到多晶矽磚，從生長的矽片到不同層或金屬化的矽片的過程控製。標準的軟件接口，便於連接到許多處理或自動化係統。

MDPspot少子壽命測試儀低成本桌麵單點測量矽片或晶磚，用於在不同製備階段表征各種不同的矽樣品，無需內置自動化。可選手動操作的z軸厚度高達156毫米的矽磚樣品，高達156毫米矽磚，結果可視化的標準軟件。

弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）係列主要用於測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP（QSS））的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化等領域被廣泛應用。可以說，MDPpro是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。

MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個緊湊的離線台式檢測設備，主要被設計用於生產控製或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為穩態或短脈衝激勵下（μ-PCD）。

德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或麵掃檢測儀）是一款靈活的OEM設備，可以用於多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶到多晶矽錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。配置標準軟件接口，易於連接到許多處理或自動化係統。

MDPinline（MDP高速晶圓片在線麵檢測儀--少子壽命檢測）是一種用於快速定量測量載流子壽命並集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線麵掃檢測儀--進口少子壽命測試）係統是快速多晶矽晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鍾時間裏測量其四麵。所有的圖譜（壽命，光電導率，電阻率）都可以同時進行測量。