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    MDPlinescan

    • 更新時間:  2024-03-04
    • 產品型號:  
    • 簡單描述
    • 靈活的OEM設備,用於多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶矽到多晶矽錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。標準軟件接口,易於連接到許多處理或自動化係統。
    詳細介紹

    應用範圍:靈活的OEM設備,用於多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶矽到多晶矽錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。標準軟件接口,易於連接到許多處理或自動化係統。

    在線麵掃和單點檢測

    MDPlinescan是一個易於集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
    樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人係統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測,每個晶圓的測量速度小於一秒。
    電池生產線上的來料質量檢查是用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散後的工藝質量檢查也能用到此款產品。

     

     

    還有許多其他的專門應用可能性。由於其易於集成,隻需要以太網連接和電源。                                                              
      

    特性

    允許單片調查
    配方的基礎測量
    監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

    優勢
    在μ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
    用於集成在生產線的多晶或單晶矽晶圓在不同的準備階段,直到設備,磚或錠。
    小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結果的精度。

     

    技術參數

    樣品

    多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

    樣品尺寸

    大約50 x 50 mm2

    電阻率

    0.2 - 103 Ohm cm

    conduction type

    p, n

    材質

    矽晶圓,部分或*加工的晶圓,複合半導體等

    測量屬性

    載流子壽命

    硬件接口

    ethernet

    大小

    174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

    電源

    24 V DC, 2 A

     


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